產品特點
● 頻率范圍寬：頻率范圍10Hz~1MHz連續頻率點可調
● 高精度、大動態范圍：提供0V~3500V偏壓范圍，精度0.1%
● 內置CV測試：內置自動化CV測試軟件，包含C-V（電容- 電壓），C-T（電容- 時間），C-F（電容 - 頻率）等多項測試測試功能
● 兼容IV測試：同時支持擊穿特性以及漏電流特性測試
● 實時曲線繪制：軟件界面直觀展示項目測試數據及曲線，便于監控
● 擴展性強：系統采用模塊化設計，可根據需求靈活搭配
軟件界面及功能
CV測試界面
CV曲線圖
產品選型
| 模塊 | VGS范圍 | IGSS/IGE | VDS范圍 | IDSS/ICES | 源測精度 |
|---|---|---|---|---|---|
| SMU | 0 - ±30V(選配) | ≥10pA(選配) | 0-±300 | ≥10pA | 0.03% |
| 0-±1200V | ≥1nA | 0.1% | |||
| 0-±2200V | ≥1nA | 0.1% | |||
| 0-±3500V | ≥1nA | 0.1% |
| 模塊 | 測試頻率 | 頻率輸出精確度 | 基本準確度 | AC測試信號準位 | DC測試信號準位 | 輸出阻抗 | 量測范圍 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| LCR | 10Hz-1MHz | ±0.01% | ±0.05% | 10mV至2Vrms (1m Vrms 解析度) | 10mV至2V (1m Vrms 解析度) | 100Ω | |Z|, R, X 0.001mΩ–99.999MΩ Cs、Cp 0.01pF – 9.9999F D 0.00001-9.999 DCR 0.001mΩ–9.999MΩ θ -180° -+180° |Y|, G, B 0.1nS–99.999S Ls Lp 0.1nH–9.999kH Q 0.1-9999.9 Δ% -9999%-999% |
*以上規格如有更新，恕不另行通知。
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